| 品牌 | 福润德 |
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| 型号 | tynksl |
太阳能扩散炉主要满足光伏电池生产线对 125mm × 125mm 、 156mm × 156mm 多晶硅、单晶硅硅 片进行扩散工艺。目前有第二代闭管扩散炉和第三代软着陆扩散炉。 技术指标： u 可处理硅片尺寸： 125mm × 125mm 、 156mm × 156mm u 外型形式：卧式 1 — 4 管结构 u 载片量： 400 片／管 u 扩散方式：闭管扩散、软着陆全封闭 u 工作温度： 200 ℃ — 1300 ℃ u 恒温区长度及精度： 200mm — 1100mm ≤± 1 ℃ u 单点温度稳定性、重复性： ≤± 1 ℃／ 24h u 温度控制： 5 段控温 u 总功率： 120K V A u 送片装置：悬臂推拉舟，碳化硅桨**大载重 17kg u 气路系统： 1 — 5 路工艺气体／管 u 气体控制：进口 MFC u 控制方式：工控机、触摸屏 u Thinnerwafers ： 180Um u Break rate ： 0.8 ％ u 方阻均匀度范围：片内± 5 ％，片间± 5 ％，批间± 5 ％